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検査装置

検査装置の記事一覧

全30件中 11〜20件目を表示

  • 名大ら，ウエハーの転位・ひずみの分布を可視化

    名古屋大学とMipoxは，新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）のプロジェクトにおいて，半導体基板を製造する際に発生する結晶欠陥（転位）をカウントするシステムの構築と，ウエハー全体の転位やひずみの分布を直感的に分...

    2022.06.30

  • 島津，フーリエ変換赤外分光光度計の新製品を発売

    島津製作所は，フーリエ変換赤外分光光度計の新モデル「IRXross（アイアール・クロス）」を，3月18日から国内外で発売する（ニュースリリース）。価格は343.5万円～（税別）。 フーリエ変換赤外分光光度計（FTIR）は...

    2022.03.18

  • 日立ハイテク，EUV向け電子線検査システムを開発

    日立ハイテクは，電子線広視野検査システム「GS1000」を開発したことを発表した（ニュースリリース）。 近年，半導体デバイスの微細化が進むにつれ，先端デバイスメーカーは微細かつ高精度な加工が可能なEUV露光プロセスを導入...

    2021.12.14

  • 【光フェア】太平貿易，SWIR検査システムをデモ

    光技術展示会「光とレーザーの科学技術フェア2021」（11月17日（水）～19日（金），東京都立産業貿易センター浜松町館）において，太平貿易はSWIR検査システムの展示とデモを行なっている（赤外線フェア ブースNo.4R...

    2021.11.18

  • ルケオ，3000nm対応全自動近赤外歪検査器発売

    ルケオは，全自動近赤外歪検査器「LSM-9100WNIR」の販売を開始した（製品ページ）。 この製品の検査方法は近赤外（NIR）3波長直線偏光方式で，測定物を配置し測定ボタンをクリックするだけで操作が完了する。 内蔵カメ...

    2021.10.20

  • 2020年検査アプリケーション市場，6,251億円に

    富士経済は，新型コロナウイルス感染症の流行により世界的に景気動向が不安視される中，堅調に推移しているという画像処理システムの世界市場を調査し，その結果を「2020 画像処理システム市場の現状と将来展望」にまとめた（ニュー...

    2021.03.09

  • 浜ホト，マイクロLED検査装置を開発

    浜松ホトニクスは，フォトルミネッセンス（Photo Luminescence：PL）計測法により，ウエハー上のマイクロLEDの外観，輝度，発光波長の異常を高速で検査できる「MiNY（マイニー）PL マイクロLED PL検...

    2021.03.05

  • TED，ウエハーマクロ検査装置を発売

    東京エレクトロンデバイス（TED）は，化合物半導体ウエハー表面の欠陥を高速，高感度で検出するマクロ検査装置「RAYSENS」（レイセンス）の販売を開始した（ニュースリリース）。 昨今，5G通信などの次世代通信インフラや自...

    2020.07.16

  • 浜ホト，光学式ピンホール検査ユニットを開発

    浜松ホトニクスは，板状ワークに開いた穴欠陥を高速に検出できる「ピンホール検査ユニット C15477」を開発した（ニュースリリース）。価格はユニット一式で520万円。 この製品は，大面積の板状ワークの直径1μmまでの穴欠陥...

    2020.02.19

  • 東芝，微小キズを検出する光学検査技術を開発

    東芝は，目視や通常の画像検査では検知するのが困難な小さなキズや異物を瞬時に可視化するワンショット光学検査技術を開発した（ニュースリリース）。 近年，製造現場において，労働者不足の解決や製造コスト削減の観点からIoTやAI...

    2019.11.05

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