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  • 北大ら,フォトリソの感度を上げる添加剤を発見

    北海道大学と大阪大学は,ナノ構造体形成についての研究の成果として,半導体製造用材料であるレジスト材料の加工性能を大幅に改善する方法の開発に成功した(ニュースリリース)。 現在のフォトリソグラフィプロセスでは,化学増幅型レ...

    2016.12.21

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