ドライエッチング

ドライエッチングの記事一覧

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  • 名大ら,金属炭化物のドライエッチングに成功

    名古屋大学,日立製作所,日立ハイテクは,フローティングワイヤープラズマへのアンモニア水蒸気導入により,3元金属炭化物(TiAlC)の表面変質層を形成し,この材料を揮発除去するドライエッチングに成功した(ニュースリリース)...

    2022.12.19
  • TEL,チャンバーを5基搭載可能なドライエッチング装置を発売

    東京エレクトロン(TEL)は,第6世代(1500×1850mm)ガラス基板対応ドライエッチング装置に関し,高精細プロセス向けプラズマモード「PICP™」(パネル基板上に極めて均一な高密度プラズマを生成するコンセプトを示す...

    2017.12.11
  • 日立,イオンビーム応用装置製造事業をワイエイシイに譲渡

    日立製作所とワイエイシイ(YAC)は1月20日,日立の子会社である日立茨城テクニカルサービスのイオンビーム応用装置製造事業を,2017年2月1日付でYACに譲渡することで合意したと発表した(ニュースリリース)。 日立は,...

    2017.02.01

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