キラー欠陥

キラー欠陥の記事一覧

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  • 産総研,ファインセラミックス欠陥の可視化技術開発

    産総研は,ファインセラミックスのプロセス・インフォマティクス(PI)の構築を目指して,「次世代ファインセラミックス製造プロセスの基盤構築・応用開発」に取り組んでおり,今回,ファインセラミックス焼結体内部に存在する亀裂,気...

    2024.03.11
  • 日立ハイテク,ウエハー表面検査装置を発売

    日立ハイテクは,パターンなしウエハー表面における異物や欠陥を検査する「LS9600」を発売することを発表した(ニュースリリース)。 この製品は,新規採用の高出力・短波長レーザーなどを搭載することにより,最先端半導体デバイ...

    2022.12.20

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