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エキシマの記事一覧

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ウシオ，高周波対応エキシマ照射装置を開発

ウシオ電機は，「高周波デバイス向けRoll to Rollエキシマ照射装置」の開発に成功したと発表した（ニュースリリース）。 5Gに代表される高速，低遅延，多数接続な通信環境は，CPS（Cyber Physical Sy...
2021.12.09
ウシオ，小型エキシマ照射装置を発売

ウシオ電機は，自動車部品やスマートフォン製造プロセスにおける接着・封止工程の前処理用として，172nm真空紫外光（エキシマ光）照射によって部品のドライ洗浄や親水化，接着性を向上させる「HPV-ST Series（HPV-...
2020.07.30
名大ら，超流動ヘリウム中の流れの可視化に一歩

名古屋大学，日本原子力研究開発機構（JAEA）と高エネルギー加速器研究機構（KEK）による共同プロジェクト（J-PARC），中性子科学センター（CROSS），京都大学の研究グループは，可搬型の小型計測装置を開発し，超流動...
2020.04.13
ウシオ電機，半導体向け小型エキシマ光源を開発

ウシオ電機は，従来比5倍の高照度でありながら60%のダウンサイジングを実現した，半導体製造プロセス向けエキシマ光照射ユニットの開発に成功した（ニュースリリース）。同製品は2019年度中に販売開始の予定。近年，モバイル機...
2018.12.05
ウシオ，新型の紫外線治療器を発表

ウシオ電機は，エキシマフィルターを搭載した紫外線治療器「セラビーム® UV308」シリーズの最新機種となる「セラビーム® UV308 Slim（スリム）」の全国販売を，2018年6月1日より開始すると発表した（ニュースリ...
2018.05.29

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