1.　はじめに

X線自由電子レーザー（XFEL）・大型放射光施設の利用実験では，X線の回折・散乱像を広範囲に取得する実験が多く，このデータの取得にX線イメージング検出器が主なツールとして用いられる。検出器としての基本性能である感度・ダイナミクスレンジ・フレームレート・センサー面積・放射線耐性が高いレベルで要求されるため，放射光科学分野では最先端のX線イメージング検出器の開発が行われている。

中でも，10μm以下の高空間分解能イメージングが要求されるX線撮像・X線CT・X線トポグラフィではシンチレーターを用いた間接変換型の検出器が用いられている。間接変換型は，高エネルギーX線に対する量子効率（阻止能）が高いなどのメリットがある。しかし，イメージの滲みや検出面の感度ムラが大きく，定量性に劣るとされてきた。

本稿では，シンチレーターと結像光学系を用いたX線の間接変換検出によるX線の高空間分解能イメージングの手法を，間接変換検出の問題を解決する新たな薄膜シンチレーターの製法^1）と共に紹介する。この手法では，間接検出型の理論限界に相当する空間分解能と，極めて感度ムラの小さなシンチレーター面を持つため，間接検出型の適用範囲を大きく広げると期待される。

2.　X線高空間分解能イメージング

X線の間接変換検出はA）シンチレーター，B）結像光学系，C）可視用イメージセンサーの3つの要素で構成される（図1）。A）にX線を照射すると可視領域の蛍光が発生し，これをB）でC）に結像する。ピクセルサイズはレンズやファイバーオプティクスプレート等の光学系を使用し，イメージの拡大縮小をして目的に応じたサイズに設計できる。空間分解能は理想的にはA）の蛍光波長とB）の開口数による回折限界で決まる。