カツラ・オプト・システムズは，一体型チルトセンサと一体型変位チルトセンサを9月に発売した（製品ページ）。

一体型チルトセンサは小型で，センサとプロセッサ，一体型でシンプルな構成となっており，傾斜測定±54分，高速測定が可能という。

従来型のような大きなチルトセンサでは組み込みが困難だったため，装置組み込みも想定した小型で，高品位なチルトセンサがこれまで諦めていた機内測定を実現した。

大きさはW65×D75×H34mm，質量は0.2kg，出力更新レートは1秒につき1600回となっており，電源と通信ケーブルのみで完結している。また，ハンドラーや治具等にも搭載可能としている。

一体型変位チルトセンサは，三角測量とオートコリメータの測定方式を一つに，さらにコンパクト化した高精度光学センサーとなっている。また， センサーとプロセッサ一体型でシンプルな構成で，１ビームで変位と傾斜の同時測定を実現できるという。さらに，高速出力レートを可能とし，２種類のセンサーを測定範囲（±60分（円形範囲），±90分（円形範囲））から選べる。

大きさはW100×D80×H35mm，質量は0.3kg，出力更新レートは1秒につき1000回となっている。こちらも電源と通信ケーブルのみで完結し，処理部などのユニット接続は不要という。

この製品は製造工程中のウエハーの反りの判定，プロジェクターのレンズフランジのあおりやフォーカス調整，カメラモジュールのレンズアクチュエータで駆動時の傾斜検査などで使用できるとしている。