【OPIE】パナ,超高精度三次元測定機を展示

光技術展示会「OPIE’24」展示会場で,パナソニックFSエンジニアリングは,史上最高の高傾斜高精度のUA3P-1000シリーズにおいて,UA3P-4000にエッジ検出カメラを搭載したUA3P-4000+エッジ検出カメラをデモ展示する【ブースNo.J-02】。

この製品は上面測定用(AFP)が採用されており,超低測定力で測定物の高精度スキャニング測定が可能。スタイラスはマイクロエアスライダーで保持され,フォーカス用レーザによりスタイラスの動きを検出し,測定力が一定になるようにAFPの位置を測定物の形状に合わせて追従する。

この製品シリーズは簡単な操作で高い精度の光学デバイス測定を行うことができる。独立した3枚のミラーと周波数安定化He-Neレーザで対象を高速,高精度に測定する。また,カメラ用レンズなどの測定をはじめ自由曲面の金型などもシングル・ナノ制度の優れた測定も実現している。自動測定による量産行程での測定も可能である。

さらに,レンズを専用治具にセットして両面を測定することにより形状に加え、偏心や傾き、厚みなども一度に測定することもできる。 UA3Pの高精度座標とカメラを組み合わせることで、スマホレンズの外径偏心・面間偏心、VR接眼レンズ等を従来比10倍の高速かつ短時間で測定が可能。測定精度も従来の400Tレベルを実現しているという。

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