米Coherentは，UV（紫外）発振，50W出力の産業用フェムト秒レーザー「Monacoシリーズ」の最新モデル「Monaco 345-25-50」を発表した（ニュースリリース）。

モバイルおよび次世代ITデバイス用のウエハーの溝加工やディスプレースタックの精密切断などのアプリケーションの急速な成長により，材料を高速かつ高精度に加工できるより高出力のレーザーツールのニーズが高まっているという。

この製品は，24時間365日のフル稼働を実証している産業グレードのパフォーマンスを備えた初の50W 400fs UVレーザーであるため，完璧なアセンブリフィットで，非常に大量で高精度の切断が可能となり，ウエハーや積層型OLEDディスプレーの高速・大量切断用途向けに理想的だという。

またこの製品は，UV内で400fs未満のパルス幅で，最大2MHzの繰り返しレートで最大25μJのエネルギーのパルスを供給。これには，パルスオンデマンド，可変パルス幅調整，可変繰り返しレート，柔軟なシーダーバーストモードなど，「Monacoプラットフォーム」の標準機能がすべて含まれており，コンパクトなサイズと真のシングルボックス設計に基づいて，ツールに簡単に統合可能だとしている。

さらに，「Monacoシリーズ」は，炭化ケイ素（SiC）ウエハーを含む，直接アブレーションを通じて幅広いウエハー材料の切断が可能だという。