Coherent,高速精密切断用フェムト秒レーザー発表

米Coherentは,UV(紫外)発振,50W出力の産業用フェムト秒レーザー「Monacoシリーズ」の最新モデル「Monaco 345-25-50」を発表した(ニュースリリース)。

モバイルおよび次世代ITデバイス用のウエハーの溝加工やディスプレースタックの精密切断などのアプリケーションの急速な成長により,材料を高速かつ高精度に加工できるより高出力のレーザーツールのニーズが高まっているという。

この製品は,24時間365日のフル稼働を実証している産業グレードのパフォーマンスを備えた初の50W 400fs UVレーザーであるため,完璧なアセンブリフィットで,非常に大量で高精度の切断が可能となり,ウエハーや積層型OLEDディスプレーの高速・大量切断用途向けに理想的だという。

またこの製品は,UV内で400fs未満のパルス幅で,最大2MHzの繰り返しレートで最大25μJのエネルギーのパルスを供給。これには,パルスオンデマンド,可変パルス幅調整,可変繰り返しレート,柔軟なシーダーバーストモードなど,「Monacoプラットフォーム」の標準機能がすべて含まれており,コンパクトなサイズと真のシングルボックス設計に基づいて,ツールに簡単に統合可能だとしている。

さらに,「Monacoシリーズ」は,炭化ケイ素(SiC)ウエハーを含む,直接アブレーションを通じて幅広いウエハー材料の切断が可能だという。

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