Coherent,高速精密切断用フェムト秒レーザー発表

米Coherentは,UV(紫外)発振,50W出力の産業用フェムト秒レーザー「Monacoシリーズ」の最新モデル「Monaco 345-25-50」を発表した(ニュースリリース)。

モバイルおよび次世代ITデバイス用のウエハーの溝加工やディスプレースタックの精密切断などのアプリケーションの急速な成長により,材料を高速かつ高精度に加工できるより高出力のレーザーツールのニーズが高まっているという。

この製品は,24時間365日のフル稼働を実証している産業グレードのパフォーマンスを備えた初の50W 400fs UVレーザーであるため,完璧なアセンブリフィットで,非常に大量で高精度の切断が可能となり,ウエハーや積層型OLEDディスプレーの高速・大量切断用途向けに理想的だという。

またこの製品は,UV内で400fs未満のパルス幅で,最大2MHzの繰り返しレートで最大25μJのエネルギーのパルスを供給。これには,パルスオンデマンド,可変パルス幅調整,可変繰り返しレート,柔軟なシーダーバーストモードなど,「Monacoプラットフォーム」の標準機能がすべて含まれており,コンパクトなサイズと真のシングルボックス設計に基づいて,ツールに簡単に統合可能だとしている。

さらに,「Monacoシリーズ」は,炭化ケイ素(SiC)ウエハーを含む,直接アブレーションを通じて幅広いウエハー材料の切断が可能だという。

キーワード:

関連記事

  • オキサイド、フェムト秒レーザのポーランドFluence社と業務提携

    株式会社オキサイドは2026年4月21日、ポーランドのフェムト秒レーザメーカーであるFluence Technology(以下、Fluence社)と業務提携を締結した(ニュースリリース)。両社はフェムト秒レーザ分野におけ…

    2026.04.30
  • OPIC2026プレナリーセッション開催、フォトニクス・光技術・量子技術の最新動向

    2026年4月22日、パシフィコ横浜で開催された国際会議「OPIC2026(Optics & Photonics International Congress 2026)」において、プレナリーセッションが行われた…

    2026.04.23
  • 防衛装備庁、令和7年度終了評価を公表 光・量子・先端材料で注目研究者並ぶ

    防衛装備庁は2026年4月、安全保障技術研究推進制度(いわゆる防衛省ファンディング)における令和7年度の終了評価結果を公表した(関連HPはこちら)。 今回の評価では、令和6年度までに終了した19件の研究課題が対象となり、…

    2026.04.16
  • なぜ今「量子」なのか OPIE’26で新フェア、産学官が本格連携

    2026年4月22日から24日までパシフィコ横浜で開催されるアジア最大級の光技術展示会「OPIE’26」において、最大の注目は新たに新設される「量子イノベーションフェア」である。本フェアは、国内最大級の産学官…

    2026.04.15
  • マイクロエプシロン、150kHz・サブミクロン精度のレーザー変位センサ「optoNCDT 5500」発売

    Micro-Epsilon Japan(マイクロエプシロン)は、ハイエンドアプリケーション向けの新型レーザー変位センサ「optoNCDT 5500」の販売を開始した(ニュースリリース)。本製品は、サブミクロン単位の精度と…

    2026.04.14

新着ニュース

人気記事

編集部おすすめ

  • オプトキャリア