横河計測,5μm帯対応のスペアナ発売

横河計測は,波長範囲1.9μm~5.5μmのレーザーの光スペクトルを,広い測定ダイナミックレンジと高い波長分解能で高精度に測定する光スペクトラムアナライザ「AQ6377」を開発し,1月16日から発売する(ニュースリリース)。

近年,環境計測分野では,炭素酸化物(COx),窒素酸化物(NOx)および炭化水素ガス(CxHy)などのガスを検出する技術として,レーザー吸収分光法が普及している。レーザー吸収分光法では,近赤外領域の半導体レーザーが広く使用されている。

これらのガスには波長が長い光ほど吸収しやすいという性質があるため,より長い中赤外領域の波長の光を利用して高精度にガスや物質を測定したいというニーズが加速している。

この測定には,5μm帯半導体レーザーが用いられるが,5μm帯の光スペクトルを測定するには,波長が干渉を起こす性質を利用した干渉計型の測定器や,分光器を用いた大掛りなシステムが必要となる。また,測定可能なダイナミックレンジや波長分解能などの測定精度に課題があり,小型で高性能な光スペクトラムアナライザが望まれていた。

今回開発した製品は,同社が可視光領域や近赤外線領域で培ってきた,光スペクトルを高精度に測定する技術を基に,中赤外線領域の5μm帯にも対応できるようにした分散分光方式の測定器となる。

製品の主な特長は以下の通り。
1.業界最高の広い測定レンジ
測定ダイナミックレンジは,波長5μm帯向けの干渉計型測定器と比較して約2,000倍に相当する73dB,近傍ダイナミックレンジは,約10倍に相当する50dBを実現した。半導体レーザーのサイドモード特性の測定に十分な性能を実現した。

2.業界最高の高い波長分解能
波長分解能は,波長5μm帯向けの干渉計型測定器の3分の1に相当する200pmを実現した。

3.被測定光本来の光スペクトルの測定が可能
分光器内の空気に含まれる微量な水蒸気を除去して特定の波長の光の吸収を抑制する機能と,分光器の原理上発生する高次回折光(入力光波長の2~3倍の波長に現れるゴースト現象)の影響を低減する機能を搭載した。被測定光本来の光スペクトルの測定を可能にする。

主な対象ユーザは,環境計測分野などの大学・研究機関および光半導体デバイスメーカー,光モジュールメーカーなどで,主な用途は,半導体レーザー,ファイバレーザーや広帯域光源の発光スペクトル評価,FBGなどの光フィルタの波長透過特性測定などとしている。

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