ギガフォトンは，現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ（LPP）光源について，最先端半導体量産ラインでの稼働を想定したパイロット光源にて，量産実現レベルである稼働率（availability）80%以上のポテンシャルを確認したと発表した（ニュースリリース）。
同社は今春，現在開発検証中のEUVパイロット光源にて，ダミーコレクターミラーを搭載した模擬試験を2週間にわたり実施したところ，稼働率（availability）64%という結果を得た。パイロット光源の動作状況の内訳は，稼働・待機時間64%，休日・夜間等による停止時間25%，その他メンテナンス等による停止時間11%。これは休日，夜間等も停止せずに稼働させたと仮定すると，ポテンシャルとして，稼働率（availability）80%以上と同等であるという。
同社は引き続き量産実現を目指し，高稼働高信頼性を実現するEUV光源の開発を進めるとしている。
