ギガフォトン,EUV光源の稼働率80%以上を確認

ギガフォトンは,現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源について,最先端半導体量産ラインでの稼働を想定したパイロット光源にて,量産実現レベルである稼働率(availability)80%以上のポテンシャルを確認したと発表した(ニュースリリース)。

同社は今春,現在開発検証中のEUVパイロット光源にて,ダミーコレクターミラーを搭載した模擬試験を2週間にわたり実施したところ,稼働率(availability)64%という結果を得た。パイロット光源の動作状況の内訳は,稼働・待機時間64%,休日・夜間等による停止時間25%,その他メンテナンス等による停止時間11%。これは休日,夜間等も停止せずに稼働させたと仮定すると,ポテンシャルとして,稼働率(availability)80%以上と同等であるという。

同社は引き続き量産実現を目指し,高稼働高信頼性を実現するEUV光源の開発を進めるとしている。

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