ギガフォトンは，現在開発中のEUVスキャナ用レーザ生成プラズマ（LPP）光源のプロトタイプにおいて，最大出力92Wを発光効率（CE）4.2%で達成することに成功したと発表した（ニュースリリース）。

このプロトタイプLPP光源は，20µmのすず（Sn）ドロップレットを，固体レーザによるプリパルスとCO₂レーザによるメインパルスで照射することでEUVを発光させ，また，高出力な超電導磁石とH₂ガスを用いたSnエッチングを組み合わせることで，照射によるSnデブリの発生を抑制している。

また，コレクターミラーの寿命を最大限に延ばすために，超伝導磁石で強力な磁場を発生させ，すずドロップレットの熱膨張から発生する不要なデブリを，スズキャッチャーへ導いて除去している。

今後，同社では量産対応EUVスキャナの実現に向けて，2014年末までに150 Wの出力，最終的には250 Wを目指す。

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