ニコンは，ArF液浸スキャナ「NSR-S622D」の販売を開始した。この露光装置は，ストリームラインプラットフォームを採用した「NSR-S621D」の精度をさらに向上させ，20nm以下のプロセス量産用（マルチプルパターニング適応）に開発された装置。特にマルチプルパターニングプロセスにおいて重要となる MMO（Mix and Match Overlay：装置間重ね合わせ精度）を大きく向上させた。
主な性能
| 解像度 | 38nm以下 |
|---|---|
| NA（開口数） | 1.35 |
| 光源 | ArFエキシマレーザー（波長:193nm） |
| 縮小倍率 | 1/4倍 |
| 最大露光領域 | 26x33mm |
| 重ね合わせ精度(M+3σ) | 2nm以下 |
| 重ね合わせ精度(M+3σ) | 3.5nm以下 |
| スループット（300mmウェハ毎時）125shots | 200枚以上 |
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