光関連技術

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三菱電機,がん治療財団から「重粒子線スキャニング照射装置」を受注

三菱電機,がん治療財団から「重粒子線スキャニング照射装置」を受注

三菱電機は,佐賀国際重粒子線がん治療財団(佐賀県鳥栖市)から,より的確に患部への重粒子線ビームの照射を実現する「重粒子線スキャニング照射装置」を受注した(ニュースリリース)。2017年内に九州国際重粒子線がん治療センター […]
埼玉大ら,光学式膜厚測定装置を組込んだマイクロマシン用静電塗布装置を開発

埼玉大ら,光学式膜厚測定装置を組込んだマイクロマシン用静電塗布装置を開発

埼玉大学 とアイテーオーは,多くの電子デバイスの製造工程に用いられているレジスト膜の塗布速度の高速化・膜厚の均一性に対応するため,光学式で膜厚を大面積一括に高速する測定技術を確立し,これを組み込んだ静電塗布装置およびリア […]