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阪大ら，超小型波長変換デバイスで真空紫外光を発生

大阪大学，立命館大学，京都大学は，従来型の波長変換デバイスとは全く異なる超小型な微小共振器デバイスを作製し，波長変換により波長199nmの真空深紫外（VUV）光を発生することに成功した（ニュースリリース）。近年，微細加...
2024.12.12
ウシオ，VUVアライナーのエントリーモデルを発売

ウシオ電機は，同社が開発した真空紫外光による親水化パターニング方式アライナー「VUVアライナー（SUS740）」のエントリーモデル「VUVエクスポージャー（SUS971）」の販売を7月より開始する（ニュースリリース）。 ...
2019.06.04

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