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  • 東工大,高性能シリコン太陽電池製造手法を安全化

    東京工業大学の研究グループは,シリコンヘテロ接合(SHJ)太陽電池用の水素化アモルファスシリコン(a-Si:H)を,強い爆発性を有するSiH4ガスを使用せずに,高速かつ低ダメージで形成する手法を確立した(ニュースリリース...

    2024.03.14

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