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  • 東北大ら,GaNから微量な炭素不純物を検出

    東北大学とサイオクスの研究グループは,全方位フォトルミネセンス(ODPL)法を用いて,窒化ガリウム結晶における微量な炭素不純物の検出に成功した(ニュースリリース)。 半導体デバイスは,用途に応じて様々な材料を用いて製造さ...

    2019.12.09

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