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  • 理研など、次世代2µm固体レーザー向け高効率EUV光発生法を実証

    理化学研究所(理研)や宇都宮大学などの国際共同研究グループは、次世代の先端半導体製造に期待される「2µm固体レーザー」を用いた極端紫外(EUV)光の発生において、複数のレーザーを同時照射する「マルチレーザー照射法」の有効...

    2026.08.27

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