微細配線

微細配線の記事一覧

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  • 石原産業,低温焼結銅ナノ粒子の量産化に目途

    石原産業は,北海道大学が基本設計した銅ナノ粒子を基に石原産業の粒子合成技術及び量産化技術をドッキングさせ,従来にない窒素雰囲気下,150℃という低温焼成で製膜する銅ナノ粒子のスケールアップ合成に成功し,量産化への目途を立...

    2021.05.31
  • 東工大,ダメージレスのステルスダイシングを実現

    東京工業大学,WOWアライアンスの研究グループは,ステルスダイシングと呼ばれるレーザーダイシング加工プロセスを用いた,ダメージが生じない極薄ウエハー加工技術の開発に成功した(ニュースリリース)。 半導体デバイスのさらなる...

    2020.06.23
  • ウシオ,VUVアライナーのエントリーモデルを発売

    ウシオ電機は,同社が開発した真空紫外光による親水化パターニング方式アライナー「VUVアライナー(SUS740)」のエントリーモデル「VUVエクスポージャー(SUS971)」の販売を7月より開始する(ニュースリリース)。 ...

    2019.06.04

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