ステルスダイシング

ステルスダイシングの記事一覧

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  • 東工大,ダメージレスのステルスダイシングを実現

    東京工業大学,WOWアライアンスの研究グループは,ステルスダイシングと呼ばれるレーザーダイシング加工プロセスを用いた,ダメージが生じない極薄ウエハー加工技術の開発に成功した(ニュースリリース)。 半導体デバイスのさらなる...

    2020.06.23
  • ディスコ,高スループットレーザーソーを開発

    ディスコは,Φ300mmウエハー対応のステルスダイシング(SD)レーザーソー「DFL7362」を開発,12月に発売を開始する(ニュースリリース)。 近年,アジア圏でのスマートフォンの普及や,ストレージやサーバーの高容量化...

    2017.12.06

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