シリコン基板

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  • 東北大発ベンチャー,Si基板の評価装置を発売

    東北大学金属材料研究所発ベンチャー企業のパンソリューションテクノロジーズは,「HS-CMR法」という新たな評価手法を用いた,シリコン結晶基板の高速・高精度な新測定装置を製造・販売する(ニュースリリース)。 従来,Si結晶...

    2017.11.07

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