SP，100Wナノ秒UVレーザーを発表

米MKS Instrumentsは，パワフルな新しいナノ秒パルスレーザー，Spectra-Physics「Talon Ace UV100レーザー」を発表した（ニュースリリース）。

この製品は，業界をリードする100Wを超えるUVパワーを，小型かつ魅力的なコストパフォーマンスで提供し，TimeShiftプログラマブルパルス機能や幅広いパルス繰返し可変レンジ，前例のない柔軟性を提供し，最適な微細加工プロセスを提供するとしている。

この製品は，先端エレクトロニクスパッケージング，プリント基板，太陽光発電，セラミックス，半導体，その他の材料やコンポーネントの微細加工における高速かつ高品質の製造に適しているという。

また，業界最高レベルのシングルモードナノ秒UVパワー（>100W）と>500μJパルスエネルギーで市場をリードするとし，高出力UVナノ秒レーザーにおける数十年にわたる市場実績，培われてきた経験に基づいて，要求の厳しい24/7運転の産業用途に優れているとする。

さらに，この製品は広範な環境認定テストをクリアし，高い信頼性を実現。完全に自動化され，コンピューター制御されており，優れたビームポインティングを提供し，高精度，高スループット，一貫性のある運用を実現するとしている。

この製品はスペクトラ・フィジックスが，日本国内にて販売する。

この製品の主な特長は以下のとおり。
・>100W UV，200kHz 10ns（>500μJ/パルス）
・TimeShiftテクノロジー搭載
（パルス幅可変，パルス整形，パルス分割とバーストモード運転。広範囲の繰返し周波数において一定のパルス幅で出力）
・高速加工のための最大5MHzの繰返し周波数
・高出力ナノ秒UVにおいて極めて低い$/Wと維持コスト
・OEMツール向けの堅牢性と信頼性
・24/7運転を可能にする信頼性
・小型設計

この製品の主なアプリケーションは以下のとおり。
・フレックスPCBの切断，穴あけ
・高度なエレクトロニクスパッケージングの切断，穴あけ
・太陽電池加工
・LED加工
・OLEDの穴あけ，リフトオフ
・リチウムイオン電池の加工
・ガラス貫通ビア（TGV）穴あけ
・高速マーキング
・CFRPの切断，穴あけ，表面シボ加工