ナノフォトン,半導体ウエハーステージ搭載ラマン顕微鏡を発売

ナノフォトンは,半導体分野向け新製品ウエハーアナライザー「RAMANdrive」を発売する。

この製品は,独自のラマンイメージング機能により,半導体材料中の応力や結晶多形,欠陥などの分布をサブミクロンの空間分解能で非破壊分析し,その分布を3次元で可視化することができる。

独自の300mmウエハーステージを搭載することで,最大300mmの大型ウエハーをそのままステージに載せ,分析することが可能。

新搭載のステージナビゲーションシステムは,ユーザー所有の異物・欠陥検査装置で取得した座標データを読み込み,分析対象のある座標へステージを電動で動かすので,サンプルの捜索に時間を割くことなく,分析業務に集中できる。

高品質な暗視野観察機能により,100nm以下の微小異物も明瞭に観察することができる。高分解能なラマン分光分析により,微小異物のラマンスペクトルを検出し,成分を同定する。

また,優れた共焦点(コンフォーカル)光学系を備えており,高性能な3次元ラマンイメージング分析が可能。半導体ウエハー中の応力や結晶多形の分布を,サブミクロンの空間分解能で明瞭に3次元で可視化することができる。

同社ではこの製品を,2016年8月7日から12日まで名古屋で開催されている第18回結晶成長国際会議(ICCGE-18)にて紹介する。

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