ナノフォトン,半導体ウエハーステージ搭載ラマン顕微鏡を発売

ナノフォトンは,半導体分野向け新製品ウエハーアナライザー「RAMANdrive」を発売する。

この製品は,独自のラマンイメージング機能により,半導体材料中の応力や結晶多形,欠陥などの分布をサブミクロンの空間分解能で非破壊分析し,その分布を3次元で可視化することができる。

独自の300mmウエハーステージを搭載することで,最大300mmの大型ウエハーをそのままステージに載せ,分析することが可能。

新搭載のステージナビゲーションシステムは,ユーザー所有の異物・欠陥検査装置で取得した座標データを読み込み,分析対象のある座標へステージを電動で動かすので,サンプルの捜索に時間を割くことなく,分析業務に集中できる。

高品質な暗視野観察機能により,100nm以下の微小異物も明瞭に観察することができる。高分解能なラマン分光分析により,微小異物のラマンスペクトルを検出し,成分を同定する。

また,優れた共焦点(コンフォーカル)光学系を備えており,高性能な3次元ラマンイメージング分析が可能。半導体ウエハー中の応力や結晶多形の分布を,サブミクロンの空間分解能で明瞭に3次元で可視化することができる。

同社ではこの製品を,2016年8月7日から12日まで名古屋で開催されている第18回結晶成長国際会議(ICCGE-18)にて紹介する。

キーワード:

関連記事

  • 東大、誘導ラマン散乱によりGaN結晶中の転位を3次元イメージング

    東京大学大学院工学系研究科・院生の高橋俊氏、講師の前田拓也氏、同先端科学技術研究センター・教授の小関泰之氏らの研究グループは、次世代半導体材料である窒化ガリウム(GaN)の結晶内部に存在する転位を、非破壊かつ3次元的に可…

    2026.05.19
  • 【解説】北海道発の光電融合パッケージ技術、半導体競争力強化の鍵となるか

    技術研究組合 最先端半導体技術センター(LSTC)が進める光電融合型パッケージ技術の研究開発は、日本の半導体戦略において重要な転換点を示している。ポスト5G時代におけるデータ通信量の爆発的増大と電力消費の課題に対し、電気…

    2026.05.05
  • 【GW読書におすすめ】身近な光技術を感じる書籍「ひも解くひかり 身近なひかり」

    連休中、少しゆっくりとした時間を過ごしてみてはいかがだろうか。青い空、鏡に映る自分、写真、通信、生命の営み――私たちの身の回りには、あらゆるところに光がある。日常では当たり前に受け止めている現象も、その背後には反射、屈折…

    2026.05.02
  • 浜松ホトニクス、内部加工型レーザダイシング技術で文科大臣表彰を受賞

    浜松ホトニクス、内部加工型レーザダイシング技術で文科大臣表彰を受賞

    浜松ホトニクスは、令和8年度「科学技術分野の文部科学大臣表彰(科学技術賞・開発部門)」において、「内部加工型レーザダイシング技術の開発」で受賞したと発表した(ニュースリリース)。 同表彰は、社会経済や国民生活の発展に寄与…

    2026.04.17
  • LSTC、光電融合を加速する半導体パッケージ技術開発に着手

    技術研究組合 最先端半導体技術センター(LSTC)は、NEDOの「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業」において、「光電融合を加速する半導体パッケージング技術開発と先端後工程拠点形成」が採択されたと発表した(ニ…

    2026.04.14

新着ニュース

人気記事

編集部おすすめ

  • オプトキャリア