オーテックスは，ギリシャTheta Metrisis社の非接触膜厚自動高速マッピングステージ「FR-Scanner 」の販売を開始した（会社HP）。

標準のステージは回転式で2インチから最大450mmのウエハーまで対応する。また，XYステージやウェハカセットシステムとの対応も可能。

膜厚測定レンジは20nm-90µm，スポット径500µmで最速で600ﾎﾟｲﾝﾄを１分で測定する。製造ラインでのその場測定やリアルタイム評価に最適だとしている。