ニコン,分解能0.1nmクラス光干渉顕微鏡を発売

ニコンの子会社,ニコンインステックは,独自の高度干渉波形データ取得技術および超精密位相解析技術により,1ピコメートルの高さ分解能を実現した光干渉顕微鏡システム「BW-M7000」を発売する(ニュースリリース)。価格は45,000,000円~

ニコン独自のFVWLI(Focus Variation with White Light Interferometry)法を用いて,2.5倍(視野4.4×4.4mm)から100倍(視野111x111um)までの全ての倍率で,三次元算術平均高さ(Sa)が0.1nmクラスの表面性状評価を実現した。超平滑面から粗面まで,単一のモードで光学フィルタなどを交換することなく測定できる。

また,スペクトル干渉法を用いて,1nmから40umの透明膜の膜厚を0.1秒以下の高速測定が可能。

最大ストローク300x300mmの電動XYステージと最大ストローク200mmの電動Zフォーカシングステージを搭載し,半導体・LED・薄膜材料・高分子材料・精密機械加工部品など幅広いサンプルの測定に対応。ドリル先端の表面形状も,冶具で直立固定した状態で測定が可能。

フォーカス調整・サンプル傾斜調整・合否判定などを自動で行なう。プログラム制御による複数視野の自動測定により,R&Dのみならず,QA・QC活動にも貢献するとしている。