コヒレント,微細加工向け全固体グリーンナノレーザーを発売

米コヒレントは,幅広い精密材料加工応用向けに高出力,高信頼性,小型設計を兼ね備えた「AVIA NX」シリーズのグリーンモデル「AVIA NX 532」をリリースした(ニュースリリース)。

新モデルは,最大平均出力65Wを実現する小型設計のQスイッチ全固体グリーンレーザー(波長532nm)。高出力であるとともに,ビーム質(M2<1.3)が優れているため,切断,穴あけ,マーキングやスクライビングなどの応用でスループットの向上を可能にする。

最新の励起手法を採用することで,システム全体の光変換効率の向上を行ない,また新世代の電気コンポーネントを用いることで,レーザーヘッド内に一体化でき,小型(ヘッドサイズ587mm)で信頼性の高い製品デザインが可能となった。

高加速寿命試験(HALT)のプロトコルを通じて設計を最適化し,個々の生産ユニットには,加速ストレス性能試験(HASS)を実施することで,高い信頼性を実現した。出荷前の厳しい試験は,製品の寿命を損なうことなく,製品の潜在的な信頼性の問題を特定,排除することを目的としているという。

この製品は,マイクロエレクトロニクスやソーラーセル製造などの幅広い微細加工応用に適している。例えば,薄い金属箔やフレックス材料の切断/穴あけや,シリコンの微細加工,3Dチップパッケージ製造,ICパッケージトリミング,インクジェットノズルの穴あけやソーラーセルのスクライビングや穴あけなどを挙げている。

主な仕様は,中心波長:532nm,最大平均出力:65W。