SCREENセミコンダクターソリューションズは，イメージセンサやパワーデバイス向けウェハをアニーリングする，レーザアニール処理装置市場に参入した。

同社はレーザアニール装置の製販を手掛けてきたフランス・EXCICO社を，2014年6月に完全子会社化し，自社ブランドとして販売しているもので，「LT-3000」と「LT-3100」をラインナップする。装置に搭載している光源は波長308nmのエキシマレーザで，ドーパント活性化，薄膜結晶化，結晶欠陥の修復，表面平滑化，3Ｄスタッキングなどのメルト処理を可能にする。

装置はステッパ方式を採用しており，ステージが動かしてアニーリングするが，ビームの形状は立方体となっており，スループットを確保している。また，レーザプロセスを監視するリアルタイムモニタリング機能により，プロセスの詳細な追跡が可能。さらに，何百にも及ぶプロセス条件を1枚のウェハに一挙に設定でき，プロセス開発にかかる時間とコストを削減できるとしている。