アメテック社テーラーホブソン事業部,完全非接触・趙高精度レンズ形状測定機を発売

アメテック社テーラーホブソン事業部は,英Taylor Hobson製完全非接触の超高精度レンズ形状測定機「LUPHOScan」を発売する(製品ページ)。これまでの触針式測定機では測定が不可能であった測定アプリケーションに,より高精度なソリューションを提供する。

特徴はMWLI(多重波長走査干渉法)を使用したセンサを複数使用する点。測定用の対物センサをリアルタイムで高精度に補正する為,三組の補正用センサと参照基準面を搭載している。高精度に物理的なドリフトを連続的に補正することで,測定精度±50nm以下を実現した。

従来の形状測定機では不可能であった,最大90°までの急勾配に対応。ディフラクティブ構造表面への対応はもちろん,パンケーキ型,ガルウィング,環状型やセグメント型のレンズ,アキシコン形状にも対応する。

また,Luphoswapホルダを使用し,レンズ両表面の特性評価を行なう事が可能。ホルダにセットされた一組のレンズの両面の形状を測定すると同時に,レンズのウェッジ,ディセンターの誤差を1台の測定機で評価する事が出来る。

非接触式でありながら,透明,不透明,鏡面,研削面等,多様な表面性状に対応。従来の測定のように十字方向に測定し,他の部分の形状を類推する疑似三次元測定ではなく,全表面をスパイラル(螺旋)状に測定する事で真の三次元測定結果を提供する。

全面を測定しながらも測定時間は従来の測定機よりも短く,例えば,直径30mm,表面曲率半径60mmのレンズを,100ポイント/mm2のデータ密度で測定した場合,約120秒で測定を完了する。