ウシオ電機,外乱光の影響を補正し正確に測定するハロゲンヒータ用温度計測システムを開発


ウシオ電機は,ハロゲンヒータの外乱光の影響を補正することで,被加熱物の温度を非接触で正確に測定する温度計測システムを開発した。このシステムにより,ハロゲンヒータを採用した加熱工程において,従来の温度測定方法では難しかった非接触かつリアルタイムでの正確な温度管理が可能になる。

ハロゲンヒータは自動車や半導体,FPD,太陽電池,樹脂成型(ペットボトルなど)など様々な業界において,加熱や乾燥,改質,水分除去などを目的に使用されている。

これらの温度管理には主に金属製の熱電対を直接被加熱物に接触させて測定する方法が用いられているが,被加熱物にダメージを与えることを避けるために被加熱物の周辺を測定する場合も多く,被加熱物そのものの正確な温度を測定できていないという課題があった。

今回開発したシステムはこの課題を解決するもので,温度管理の品質向上を実現するだけでなく,従来の放射温度計の不正確な温度計測がネックとなってハロゲンヒータが適用できなかったプロセスでもハロゲンヒータの採用が可能になる。