ギガフォトンは，高出力ArF液浸レーザ「GTシリーズ」向けの新機能「eTGM」を発表した（ニュースリリース）。

この新たな機能は，同社が推進するグリーンイノベーションを実現するためのロードマップであるEcoPhoton™プログラムに従って，ネオンガス消費量の大幅削減を実現するために開発された技術で，レーザの稼働状況を綿密に監視することによって，ガスの注入量と排気量を自動的に最適化する。

このeTGMを導入するだけで，レーザの性能を低下させることなくネオンガスの使用量を半減することが可能という。eTGMはArF液浸レーザのオプション対応となるが，既にフィールドで稼働しているレーザにも組み込むことができるとしている。

また，eTGMを導入することでレーザのパドルユニットに新型グリーンモニター機能がアップグレードとして提供されるため，ユーザは実際の製造環境においてレーザガス消費量をリアルタイムで監視することができるようになる。

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