駿河精機,国内最高峰の防振機能を備えた除振台を発売

駿河精機は,国内最高峰の防振機能を備えた除振台「JHD/JSDシリーズ」を発売した(製品HP)。この製品は高剛性に優れたスチールハニカム光学定盤と従来の高性能三次元空気ばね方式に加え,新開発の「チューンド・マス・ダンピング構造(TMD)」を採用し,最高レベルの除振性能を実現した。

定盤内部の上面から下面までつなぎ目のない,一枚のスチールハニカムと,各部品の接合には完全硬化型の接着剤を用いることで高剛性を実現した。TMDとは,補助質量とばね,およびオイルの組み合わせにより,定盤の共振の抑制に用いられる受動型制振器。振点をピンポイントで抑制し,狭帯域で優れた効果を発揮する。

その結果,定盤固有の曲げ・ねじれの基本モードの共振を抑えるだけでなく・共振点の増幅度を1/10に抑える・広帯域での減衰効果を向上・あらゆる寸法・形状で定盤の共振ピークに対応・作業面の共鳴を低下 といった特長を得た。

床からの振動はもちろん,定盤上で発生する振動も減衰させることができ、100~1000Hzの周波数帯域で複数存在するピーク共振点を0.01μm/N以下に抑えている。定盤を叩いても,振動が吸収され「ゴツ」という響かない重低音になるのが特徴。

このシリーズは,特注サイズと異型,貫通穴加工など多彩なカスタムにも対応する。