日本レーザーは,独国Xiton Photonics社の産業用途ピコ秒レーザ「PIXIEシリーズ」の販売を開始した(プレスリリース)。概算価格は約2340万円~。
PIXIEシリーズは,産業用途のモードロックピコ秒レーザ。基本波1342nmに加え,周波数変換オプションにより671nm,447nm出力モデルも提供可能。6ps未満の超短パルスで,熱に弱い素材への非加熱加工に最適。また連続運転に耐える高い信頼性と長寿命を保証する産業グレード・システムとなっている。
想定する用途として,シリコン・ウエハを透過させる薄膜アブレーションや,OLEDの加工等 フラットパネルディスプレイ製造分野に適している。
主な仕様は以下の通り。
モデル | Pixie | Pixie-S | Pixie-T |
波長 平均出力 パルス幅 パルスエネルギー 繰返し周波数 M2 |
1342 nm 1.8 W < 6 ps 12 nJ 143 MHz < 1.3 |
641 nm 0.7 W < 6 ps 4.5 nJ 143 MHz < 1.3 |
447 nm 0.5 W < 6 ps 3.5 nJ 143 MHz < 1.3 |