ギガフォトンは，液浸リソグラフィ装置用レーザ光源「GTシリーズ」に採用している最先端環境技術「グリーンイノベーション」が，複数の大手半導体メーカから高く評価されていることを発表した（ニュースリリース）。
同社は2000年の創立以来，レーザに環境技術を導入してきたが，2003年に「EcoPhotonTMプログラム」を策定し，これに沿って製品開発を進めてきた。このプログラムはレーザの稼動コストを「消耗部品により発生するコスト」，「ダウンタイムにより発生するコスト」，「環境負荷のコスト」の3種類に分類し，これらのコスト要因を詳細に分析し，継続的なコスト低減を目指す指針を示すもの。
GTシリーズにはインジェクションロック技術が採用されているが，従来のシングルチャンバ技術に比べ，50%の大幅な消費電力の削減を実現する。今後，同社はプログラムに基づき，2019年までに消費電力を現在より50%削減し，消費ガスを75%削減することを目指す。
