日本レーザー,高速レーザ加工向けフェムト秒ファイバレーザシステムを発売

日本レーザーは,同社が日本における総代理店をつとめる仏国Amplitude Systems社の,レーザ加工に適したハイパワーのファイバレーザ「Satsuma HP2」及びファイバアンプシステム「Tangor」を,4年1月より発売した。

「Satsuma HP2」は,従来の超短パルスファイバレーザを凌ぐ,高い平均出力(最大20W)と高パルスエネルギー(最大40μJ)を同時に実現したファイバレーザシステム。波長1030 nmで繰返し周波数は2MHz,パルス幅400fs。ハウジングは小型で安定性に優れ,使いやすい空冷システムとなっている。オプションでSHG, THGも出力可能。

アプリケーションとして,高速マイクロ加工,ディスプレイプロセス,半導体プロセス,マーキング&型彫り,ナノストラクチャリングなどに適している。

フェムト秒ファイバアンプ「Tangor」は,30Wもの高い平均出力パワーを特長とする,非常に小型のフェムト秒アンプ。占有面積6cmx 51cmのコンパクトヘッドに加え,完全コンピュータ制御可能で,最先端の超微細加工システムへの統合が容易。パルス幅可変オプションや高調波出力オプション(SHG, THG)も対応可能。

アプリケーションとして,微細深穴加工,並列加工,半導体プロセス,深彫りマーキング&深彫刻加工,ナノストラクチャリングなどに適押している。

詳細は日本レーザー ニュースリリースへ。