ニコンは，2014年4月よりArF液浸スキャナ「NSR-S630D」の受注を開始する。この新型露光装置は，さらなる高精度と生産性を両立させたもので，10nm台のマルチプルパターニングに対応する。
新型露光装置にはウェハステージ位置計測へのエンコーダと干渉計を組み合わせたハイブリッドシステムに加え，レクチルステージ位置計測に2次元エンコーダを採用。各ステージの位置計測の空気揺らぎの影響を低減させることにより，重ね合わせ精度をより向上させた。
また、FIA（フィールド画Alignment）の5眼化により，短時間でのアライメント計測を可能にし，全ショットに近い多点計測時でもスループットの低下を最小限に抑制する。主な仕様は解像度38nm以下，NA1.35，縮小倍率1/4倍，最大露光領域26×33mm，SMO時の重ね合わせ精度1.7nm以下，MMO時の重ね合わせ精度2.5nm以下，スループットは250枚以上（300mmウェハ毎時，96ショット）。
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