ウシオ電機は，LEDから出た光を高効率で平行光に変換する光学技術（LEDコリメーション技術：LED Collimation Technology）の開発に成功し，業界最高の平行光変換効率90%を実現した。
近年，一般照明用途などではLEDの採用が進んでいるが，光強度の高い平行光を必要とするリソグラフィプロセスなどにおいては，高密度実装が困難などの理由でUV-LED光源の採用が進んでおらず，産業用途でのUV-LED光源の採用は，平行光を必要としないUVキュアリング（紫外線による接着）やインクの乾燥などに限定されていた。
今回，同社は従来並みのLED実装密度で，業界最高の平行光変換効率90%を実現するLEDコリメーション技術の開発に成功した。これにより，従来のUV-LED利用光学技術では困難だったリソグラフィプロセスでのUV-LED光源の採用が可能となり，プロセスの低温化，シャッターレスによる装置の小型化，長寿命によるダウンタイムの削減化など，UV-LEDの特長を活かした多品種少量生産向けプロセス開発や，新たな材料開発などへの応用展開も可能になる。
同社は今後，この技術を搭載したLED照射システムの開発を進め，半導体やMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）製造におけるリソグラフィプロセスなど，光強度の高い平行光が必要な用途に向け，2014年夏以降の製品化を目指す。
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