NICTは，保有する研究開発施設等の一部を，研究開発を行なう外部機関（国，地方自治体，大学，企業等）が有償で利用できる制度「施設等供用制度」を運用している。申請書による簡易な手続で，NICTの研究開発施設等の利用が可能となるが，この制度の対象となる研究開発施設等に，「フォトニックデバイスラボ クリーンルーム」が追加された。
施設で利用できる設備は，プラズマドライクリーニング装置，分光エリプソメータ，P-CVD装置，ECRエッチング装置，抵抗加熱蒸着装置，露光装置，段差測定器，電子ビーム蒸着装置1，電子ビーム蒸着装置2，シンター炉，スピンコータ，AR/HRコーティング装置，ドラフトチャンバーとなっている。
利用できるのは，原則として平日の午前8時30分から午後5時00分までの間で，使用時間に限らず1日分の使用負担金額（42,000円）が必要。施設を使用する前に，使用者全員がクリーンルーム利用に関する講習を受講する必要がある。
詳しくはこちら。
