オリンパス,3D測定工業用レーザ顕微鏡2機種を発売

オリンパスは,研究・開発や品質管理の場面で使用される工業用レーザ顕微鏡として,微細な電子デバイスや高機能素材などの表面形状を3次元(3D)で観察・測定する3D測定レーザ顕微鏡「LEXT OLS4100」を6月3日から発売する。また,レーザ顕微鏡の機能に加え,より高倍率のナノ領域の観察・測定が可能なナノサーチ顕微鏡「LEXT OLS4500」も6月3日より発売する。

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「LEXT OLS4100」は,対象物をレーザーでスキャンすることで,電子デバイスなどの複雑な表面形状を接触せずに3Dで測定する。”繰り返し性”と”正確さ”の両方を保証し,さらに広い領域での高解像観察と高精度測定が可能となった。また,ワンクリックで自動的に3D画像を取得する機能や,画像取得速度が従来機に比べ約2倍になるなど,操作性能を向上させている。

「LEXT OLS4500」は,レーザ顕微鏡と走査型プローブ顕微鏡を組み合わせた複合顕微鏡で,1台で数十倍~百万倍以上の広範囲な倍率で観察・測定することができる。なお,同製品は島津製作所と共同開発した。

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