ウシオ電機は，ドイツの子会社で次世代半導体露光用EUV光源を開発する，エクストリームテクノロジーズの活動を停止すると発表した。これに伴い，エクストリームテクノロジー製EUV光源の保守メンテナンスはオランダASMLに移管される。

ウシオ電機は今後，EUV光源事業を日本国内に集約した上で検査・開発用に事業継続する。なお，今回の件が与える影響は2013年3月決算に反映済み。