浜松ホトニクス，持ち運んで実験可能な小型エキシマランプ光源を発売

2013年04月04日 カテゴリ：ニュース ,製品・開発品

浜松ホトニクスは，高周波（RF）放電型で平面バルブの紫外線エキシマランプを搭載し，持ち運んで実験可能な持ち運びができる小型照射ボックス（344 mm×233 mm×230 mm）を採用した，生産技術開発向け小型エキシマランプ光源EX-mini「L12530」を5月1日から発売する。

この製品は，キセノンガスのエキシマ発光を利用して，発光波長172nmの高エネルギー紫外線を効率よく発生する，表面改質や洗浄に最適な紫外線光源。樹脂などの表面改質工程や半導体などの洗浄工程で，環境に優しく，ダメージや粉塵が生じないドライ処理による生産技術開発に期待できる。

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高周波（RF）放電は，点灯周波数約1.7 MHzで雲状のグロー放電のため発光ムラがなく照度の均一性が高いのが特長。そのため，ちらつきが少なく安定した紫外線出力が得られる。平面バルブにより，広い面積で近接照射も可能になった。価格は120万円。

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