旭硝子は,超薄板ガラスを用いた次世代半導体の実現に向け,電極形成技術開発を進める米Triton Microtechnologies社に対し,総額210万ドルの投資を実施した。旭硝子の微細穴開け加工技術をはじめとした超薄板ガラス関連技術と,Triton社の電極形成技術を組み合わせることで,ガラスを活用した次世代半導体開発を加速する。
Triton社は微細穴への独自の金属電極形成技術を保有しており,この技術により,次世代半導体チップとプリント基板を接続する中継基板(ガラスインターポーザー)の実用化が可能になる。この電極形成技術は,銅ペーストで穴埋めを行なう方式で,生産効率の高い連続プロセスを採用できることが特長。また,熱膨張率をガラスに合わせた銅ペーストの利用によって,電極の品質向上にも貢献できる。
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