1.はじめに
近年，LiDAR（Light Detection and Ranging）の進化は目覚ましく，LiDARを搭載した自動運転レベル3や4の自動運転車が実用化されている。LiDARに用いられるシリコン系受光素子はSi APD（Avalanche Photodiode）が主であったが，近年ではSi SPAD（Single Photon AvalancheDiode）やSiPM（Silicon Photo-Multiplier）を採用するLiDARメーカーが増えてきた。 本稿では浜松ホトニクス㈱で開発，製品化を行っているSiPMについて動作原理と開発事例を紹介する。