X線トポグラフィ

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  • JFCCら,大面積のGaN結晶から各種欠陥を検出

    ファインセラミックスセンター(JFCC)と高エネルギー加速器研究機構(KEK)は共同で,GaN結晶に含まれる様々な欠陥を短い測定時間且つ非破壊で検出するX線トポグラフィ観察法を確立し,欠陥種類と大面積にわたる各種欠陥の分...

    2018.07.10

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