ギガフォトン，EUV光源で108W/24Hの安定発光に成功

NEDOプロジェクトにおいて，ギガフォトンは，現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ（LPP）光源のプロトタイプ機を開発し，エネルギー安定性平均0.5%以下で，ロジック生産適用可能レベルである出力108Wの安定発光を，24時間連続運転で成功した（ニュースリリース）。

NEDOの「戦略的省エネルギー技術革新プログラム事業」において，ギガフォトンは，EUVスキャナー用レーザー生成プラズマ（LPP）光源の開発を進めてきた。

今回，同社は，このLPP光源のプロトタイプ機で，これまでNEDOの助成等により開発を続けてきた，20μm以下の微小ドロップレットの供給技術，短波長の固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスの組み合わせ，磁場を使ったデブリ除去技術をより進化させ，さらにエネルギー制御技術の改善により，量産工場での使用を模擬した運転パターンで，エネルギー安定性平均0.5%以下で，108W，24時間の連続稼働を達成した。

108Wという出力はロジック生産適用が可能なレベル。この成果は，量産対応EUVスキャナーの実現に向けて大きく進捗したことを意味するとしている。

なお，これらの成果を，2015年12月16日（水）～18日（金）の間，東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2015」において発表する。

今後同社は，2015年中に高出力検証機を稼働させ，メモリー等への量産対応目安である250Wレベルの連続稼働を目指し，更なる研究開発に取り組んでいく。高出力検証機は，省電力CO2レーザーの導入とEUV光の発生効率の向上を実証し，省エネルギー化を目指すとしている。