ギガフォトン,EUV光源の60W/24時間稼働を達成

NEDOプロジェクトにおいて,ギガフォトンは,現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源のプロトタイプ機で,量産工場での使用を模擬した運転パターンで平均60W,24時間の連続稼働を達成した(ニュースリリース)。

同社は今回,これまでNEDOの助成等により開発を続けてきた,20μm以下の微小ドロップレットの供給技術,短波長の固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスの組み合わせ,磁場を使ったデブリ除去技術を,より進化させたことによって,量産工場での使用を模擬した運転パターンでの平均60W,24時間の連続稼働を達成した。

これは,現状半導体工場で稼働しているEUVスキャナーに対して,約20%のスループット向上が見込める成果で,量産対応EUVスキャナーの実現に向けて大きく進捗したことを意味するもの。

今後同社は,2015年中に高出力検証機を稼働させ,メモリー等への量産対応目安である250Wレベルの連続稼働を目指し,更なる研究開発に取り組む。高出力検証機は,省電力CO2レーザーの導入とEUV光の発生効率の向上を実証し,省エネルギー化を目指す。