NEDOプロジェクトにおいて，ギガフォトンは，現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ（LPP）光源のプロトタイプ機で，量産工場での使用を模擬した運転パターンで平均60W，24時間の連続稼働を達成した（ニュースリリース）。

同社は今回，これまでNEDOの助成等により開発を続けてきた，20μm以下の微小ドロップレットの供給技術，短波長の固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスの組み合わせ，磁場を使ったデブリ除去技術を，より進化させたことによって，量産工場での使用を模擬した運転パターンでの平均60W，24時間の連続稼働を達成した。

これは，現状半導体工場で稼働しているEUVスキャナーに対して，約20%のスループット向上が見込める成果で，量産対応EUVスキャナーの実現に向けて大きく進捗したことを意味するもの。

今後同社は，2015年中に高出力検証機を稼働させ，メモリー等への量産対応目安である250Wレベルの連続稼働を目指し，更なる研究開発に取り組む。高出力検証機は，省電力CO2レーザーの導入とEUV光の発生効率の向上を実証し，省エネルギー化を目指す。