島津製作所,波長移動速度10倍のモノクロメータを発売

島津製作所は,波長可変単色光源 / 発光体のスペクトル分布測定 / 物質の透過・反射特性測定などに適したモノクロメータ「スペクトロメイトシリーズ」の新製品「SPG-120-REV」を4月7日に発売する(ニュースリリース)。価格は655,000円(税別)から。

モノクロメータは,内部の回折格子を回転させることで,入射した光から特定の波長を取り出す分光器の一種。光源と組み合わせることにより取り出せる波長を変えることのできる単色光源になる。また,検出器と組み合わせることにより発光体のスペクトル分布や物質の透過・反射特性の測定が可能となる。

同社はこれまで,明るさが特長となる独自の「凹面ブレーズド ホログラフィック 回折格子」を分光光学素子に採用したモノクロメータ「スペクトロメイトSPGシリーズ」を販売している。フラットパネルディスプレイ(FPD)・LED・太陽電池・カメラ向け検出器などの分野で,研究・開発時の分光特性評価に用いられたり,多数の試料の光学特性を測定する検査装置や,半導体のドライエッチングプロセスの終点検出モニタ,蒸着装置の膜厚モニタとして各種製造装置に組み込まれている。

新製品は,波長駆動機構を見直すことにより,高い波長精度を維持したまま波長移動速度を従来機の約10倍である500nm/sまで高めた。愚弟的には,波長駆動機構として,高い減速比の減速機を組み合わせた高分解能ステッピングモータを新たに採用したことで,高い波長精度を維持したまま高速波長移動を実現した。これによって,測定スループットの向上に寄与する。

多数の試料測定や光特性の面分布測定など繰り返し測定の多い場合や,測定波長の多い場合などにおいて,測定スループットの向上に貢献する。また,これまでの波長移動速度では難しかったライン上での高速分光検査にも適用できるので,食品の品質管理などへの展開も期待できる。

新製品は・紫外域(190-700nm)・可視域(200nm-900nm)・近赤外域(700nm-2500nm)のそれぞれの波長範囲に対応するラインナップを揃えた。同社はこの製品を契機に,アメリカを始めとする海外市場にも進出し,さらなる販売拡大を目指すとしている。