ニコンエンジニアリングはLEDやMEMS，パワー半導体などの量産に適した縮小投影露光装置「ミニステッパNES1W-ih06/i06, NES2W-ih06/i06」の受注を開始した（ニュースリリース）。

これらの装置は，これまでのミニステッパ NES1，NES2シリーズのコンセプトである小型・簡単・リーズナブルを継承しつつ，露光波長i-h線に対応した新開発の投影レンズと照明光学系を搭載した。

「NES1W-ih06,NES2W-ih06」はi-h線2波長利用によって照度を大幅に向上させ量産性を最大限まで高めたもので，NES1W-i06,NES2W-i06」はi線単波長に特化してi線プロセスに適合させた。これらの装置は12月3日から5日まで東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2014」にパネル展示される。

関連記事「ニコン，ArF液浸スキャナ「NSR-S630D」の受注を開始」「ニコン，重ね合わせ精度を向上させたArF液浸スキャナ「NSR-S622D」を発売」