丸文,フォトニック結晶プロセスインテグレーションシステムの販売を開始

丸文はアルバック,東京応化工業,東芝機械,産業技術総合研究所,理化学研究所と共同で,LED製造プロセスにおいて光の取り出し効率を大幅に改善できる「フォトニック結晶プロセスインテグレーションシステム」を開発し,販売を開始した。

fフォトニクス
左:従来のPSS 方式(倍率1 万倍写真) 右:フォトニック結晶方式(倍率5 万倍写真)

今回販売を開始したフォトニクス結晶プロセスインテグレーションシステムは,LED製造過程において最終的に光を外部に放出するサファイア基板層に,独自のパターンを持つフォトニック結晶層をナノインプリントとドライエッチングにより形成し,これまで素子内部に戻り熱に変ってしまっていた光を外部に取り出し,エネルギー効率を大幅に向上させるというもの。

従来サファイア基板層に直接数μm程度のパターンを形成するPSS方式が使われていたが,このパターンを微細なフォトニック結晶層で形成することにより,PSSでは30%程度の光取り出し効率を最大で80%程度まで増加させることができる。また,パターンの深さが1/5程度で済むため,ドライエッチング時間が短縮されることにより製造コストを大幅に抑えることができる。

丸文では,このフォトニック結晶プロセスインテグレーションシステムの国内総販売元として,共同開発の特許ライセンス,各社の装置,材料を一括して販売,サポートする。

詳細は丸文プレスリリース