アジレント・テクノロジー,半導体,誘電材料,太陽電池などの研究・開発向けに超低周波インピーダンス測定ソフトウェアを発表

アジレント・テクノロジーは,半導体の絶縁膜評価や,誘電材料や太陽電池などの評価向けに,「PX-X30 C10142A B2900A 用超低周波インピーダンス測定ソフトウェア」を開発した。

このソフトウェアは,「Agilent B2900A プレシジョン・ソース・メジャー・ユニット(SMU)」を用いて,低周波インピーダンスを測定するソフトウェア。IV(電流-電圧)特性評価用の測定器である「B2900A シリーズ」1 台で,1 mHzから 1 kHzの低周波インピーダンス測定に対応できるようになる。

一般に,低周波向けのインピーダンス測定器は高価であるほか,1 GΩを超えるような高インピーダンス測定の場合には,独自に測定システムを構築する必要があった。このソフトウェアは,低価格の SMU を活用して,低価格で超低周波インピーダンス測定を実現できるもの。

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